晶圓測試機(jī)架構(gòu)

1.Controller2.PinElectronicCard3.TimingGenerator4.PrecisionMeasurementUnit5.PatternMemory6.FixtureBoard7.SocketBoard8.Progra

分類：電子測量 時間：2007-04-29 閱讀：1174 關(guān)鍵詞：晶圓測試機(jī)架構(gòu)

晶圓邊緣的檢測

隨著特征尺寸的縮小，晶圓表面任何一部分都不允許閑置不用，器件越發(fā)地靠近邊緣，因此對于晶圓的檢查不能再忽視邊緣。現(xiàn)有的檢查平臺必須升級以面對這種挑戰(zhàn)。當(dāng)在器件結(jié)構(gòu)上線寬持續(xù)變窄后，我們不能夠再忽視晶圓的...

分類：電子測量 時間：2007-04-03 閱讀：191 關(guān)鍵詞：晶圓邊緣的檢測

晶圓級可靠性測試成為器件和工藝開發(fā)的關(guān)鍵步驟

隨著器件尺寸的持續(xù)減小，以及在器件的制造中不斷使用新材料，對晶圓級可靠性測試的要求越來越高。在器件研發(fā)過程中這些發(fā)展也對可靠性測試和建模也提出了新的要求。為了滿足這些挑戰(zhàn)需要開發(fā)更快、更敏感、更具靈活...

分類：電子測量 時間：2007-04-03 閱讀：302 關(guān)鍵詞：晶圓級可靠性測試成為器件和工藝開發(fā)的關(guān)鍵步驟