BANNER傳感器應(yīng)用舉例—晶圓檢測

■晶圓檢測 目的：檢測晶圓盒中的晶圓 應(yīng)用：激光發(fā)射器發(fā)出細(xì)小光束，帶0.02水平矩形光縫的接收器能保證光束完全被晶圓擋住。晶圓盒被安裝在一個垂直運(yùn)動的升降器上，當(dāng)升降器上下運(yùn)動時檢測。 傳感器：m12e2ld & q23sn6r w/ar19-00，加裝一個0.5mm（0.020）矩形光縫 ■300mm晶圓檢測 目的：檢測300mm foup中晶圓的有無 應(yīng)用：兩個picodot傳感器用來同時檢測同一晶圓的邊沿。如果只有一個傳感器檢測到了邊沿，則認(rèn)為晶圓錯位，此方位也可用于檢測雙槽晶圓。對于短距離的應(yīng)用，可選用pd45vn6c50. 傳感器：pd45vn6c200 ■檢測晶圓盒 目的：可靠檢測各種顏色的晶圓盒 應(yīng)用：晶圓盒由不同顏色的材料制成。vs1系列聚焦式傳感器在焦點(diǎn)處具有很高的增益，使其不受晶圓盒顏色和材料的影響。 傳感器：vs1an5c10 ■檢測晶圓是否探出 目的：檢測是否有凸出于晶圓盒的晶圓 應(yīng)用：向外凸出的晶圓容易被折斷或損壞，這會減少產(chǎn)量并能導(dǎo)致停工。md14bb6放大器配合sp8er1遠(yuǎn)程傳感器，可提供