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電放電模擬器校準(zhǔn)裝置 進行集成電路靜電放電模擬器校準(zhǔn)， 需要注意以下幾個問題： 1） 連接放電端子與地端子的短路電流導(dǎo)線應(yīng)盡量短， 以減小外界電磁干擾等對測量結(jié)果的影響； 2） 由于進行校準(zhǔn)時， 示波器工作在50ω輸入阻抗下， 此時示波器的輸入電壓范圍較?。ㄒ话悴怀^15vp-p）， 防止電壓過高損壞示波器； 3） 校準(zhǔn)時， 盡量使采集的波形布滿示波器顯示屏， 以提高測量的精確定。 高頻電流探頭選用tektronix 公司的ct-1、20 db衰減器microcircuits 公司的hat-20、數(shù)字示波器選用tektronix 公司的tds5104。 根據(jù)gjb548b-2005, 器件esd 測試要求在±0.5 kv、±1 kv、±2 kv、±4 kv、±8 kv 下進行， 因此對于集成電路靜電放電模擬器的校準(zhǔn)也在這些典型電壓下進行。表1 給出了標(biāo)準(zhǔn)對靜電放電模擬器的放電波形參數(shù)要求。 表1 集成電路靜電放電模擬器短路電流參數(shù)要求 3 校準(zhǔn)實例 下面以+2 kv 為例進行校準(zhǔn)方法的說明和測量不確定度的分析。 校準(zhǔn)時， 選取放電線路最長的一對管座引腳進行
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