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能是測量載體的加速度，微陀螺儀的功能是測量載體的角速度。微加速度計最典型的原理是：以一個質(zhì)量塊作為敏感部件，當(dāng)載體有某一方向的加速度時，質(zhì)量快向一個方向偏移，然后通過電極測量這個位移量（或產(chǎn)生偏移的慣性力）換算為加速度按位移量（或產(chǎn)生偏移的慣性力）的測量方法分類有：壓阻式加速度計、電容式、隧道電流式、諧振式、熱傳感式。 mems慣性傳感器模塊中的三軸陀螺由adi公司3個單軸mems角速度傳感器adxrs150組成，其角速度范圍為150°/s;三軸加速度計采用 adi公司的mems加速度傳感器adxl103和adxl203組成，其中adxl103是單軸加速度傳感器，adxl203是單芯片雙軸加速度傳感器，將其正交放置組成三軸加速度計來測量運(yùn)行載體沿其正交軸方向的線加速度。所選陀螺及加速度計均采用微機(jī)械技術(shù)，性能優(yōu)越、價格低廉，具有較高的性價比。根據(jù)慣性傳感器信號特點(diǎn)及a/d輸入范圍，系統(tǒng)的信號調(diào)理模塊主要包括信號的放大和低通濾波處理。選擇具有高精度、零漂移、軌對軌特點(diǎn)的運(yùn)算放大器作為信號放大及緩沖器來滿足設(shè)計需要；陀螺性能好壞主要取決于陀螺漂移，而陀螺噪聲是引起陀螺漂移的一個重要因素，在此設(shè)計的陀
ADXL105 ADXL202 ADXL202AE ADXL202E ADXL202JQC ADXL203 ADXL203CE-REEL ADXL210 ADXL213 ADXL311
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