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請教什么是"等離子淀積" ?

作者:droum 欄目:集成電路
請教什么是"等離子淀積" ?
屬于半導(dǎo)體工藝么?

2樓: >>參與討論
老黃頭
等離子濺射
屬于半導(dǎo)體工藝,也可以干別的,如增透膜.
抽真空,用電子或離子或激光轟擊靶材.靶材以離子態(tài)濺射到工件的表面上.

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