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請教什么是"等離子淀積" ? | 
  
| 作者:droum 欄目:集成電路 | 
屬于半導(dǎo)體工藝么? 
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| 2樓: | >>參與討論 | 
| 作者: 老黃頭 于 2007/3/22 14:40:00 發(fā)布:
         等離子濺射 屬于半導(dǎo)體工藝,也可以干別的,如增透膜. 抽真空,用電子或離子或激光轟擊靶材.靶材以離子態(tài)濺射到工件的表面上.  | 
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