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推薦MEMS加速度傳感器與傾角傳感器 |
| 作者：woody999 欄目：器件替換 |
推薦MEMS加速度傳感器與傾角傳感器,其性能出色,尺寸小,功耗低,可用用來監(jiān)測振動(dòng)\加速度\運(yùn)動(dòng)\傾角等,歡迎一起探討 0755-83867308 郭 woody@sinocomoptocom |
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| 作者： woody999 于 2005/9/1 9:32:00 發(fā)布：
推薦3D-MEMS加速度與傾角傳感器 需要測加速度,沖擊,振動(dòng),傾角,運(yùn)動(dòng)的可以了解一下. |
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| 作者： woody999 于 2005/9/8 9:31:00 發(fā)布：
3D-MEMS技術(shù)介紹 三維微電子機(jī)械系統(tǒng)（ 3D-MEMS ），是各種技術(shù)的創(chuàng)新性組合，可以將硅加工成三維結(jié)構(gòu)，其封裝和觸點(diǎn)便于安裝和裝配，用這種技術(shù)制作的傳感器具有極好的精度、極小的尺寸和極低的功耗。一個(gè)高級(jí)的傳感器僅由一小片硅就能制作出來，并能測量三個(gè)互相垂直方向的加速度。 利用 3D-MEMS 技術(shù)， VTI 能為高精度傾角傳感器加工出最優(yōu)的結(jié)構(gòu)，比如，為承受強(qiáng)烈震動(dòng)的加速度傳感器和高分辨率的高度計(jì)提供合適的機(jī)械阻尼。這些傳感器的功率消耗非常低，這使它們?cè)陔姵仳?qū)動(dòng)設(shè)備中具有不可比擬的優(yōu)越性。 應(yīng)用 VTI 的 MEMS 技術(shù)生產(chǎn)傾角儀，其精度高于 1 arc minute ，能夠滿足最高級(jí)別的水平精度要求，而且做得比所有其他的 MEMS 技術(shù)要好。在微安培范圍內(nèi)，傾角儀與平均功率消耗相結(jié)合，使它適用于無線應(yīng)用。 什么是VTI的3D-MEMS技術(shù)？ 單晶硅 理想的彈性材料：無塑性變形，承受力 70000 g 電容式感應(yīng)原理 偏移的直接測量 基于電容器極板間距的較大變化 電容器的電容和電荷存儲(chǔ)能力取決于兩個(gè)極板的間距和板面積 A ： C = e0 * A/d 使用有限數(shù)量的電容器，就能得到高精度和穩(wěn)定性，并且便于判斷 低功耗 密封 降低了封裝要求 可靠性：顆�；蚧瘜W(xué)物質(zhì)不能進(jìn)入到元件內(nèi)部 對(duì)稱性結(jié)構(gòu) 提高了加速度計(jì)的零點(diǎn)穩(wěn)定性、線性度和橫向靈敏度 溫度系數(shù)低于 0.2 mg/oC 非線性度一般低于 1% 橫向靈敏度一般低于 3% 定制傳感器 用于特定的靈敏度和頻率響應(yīng) 靈活的雙芯片解決方案 真正的三維結(jié)構(gòu) 較大的檢測質(zhì)量塊和電容能夠保證高性能，感應(yīng)到較小的加速度 零點(diǎn)穩(wěn)定性和噪聲性能 三維敏感元 woody@sinocomopto.com |
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| 4樓： | >>參與討論 |
| 作者： woody999 于 2005/9/13 9:25:00 發(fā)布：
傾角傳感器的運(yùn)用 傾角傳感器在工程用激光儀器中的應(yīng)用 工程用激光儀器 工程用激光儀器按其功能或作用可分： 激光投點(diǎn)儀準(zhǔn)直儀、水平儀、準(zhǔn)線儀；激光垂準(zhǔn)儀、激光鉛垂儀 激光投線儀（劃線儀、標(biāo)線儀） 激光掃平儀 工程用激光儀器的技術(shù)特點(diǎn)與發(fā)展趨勢： 水泡安平向自動(dòng)安平發(fā)展：由于工程施工操作的快速方便要求及某些特殊場合的高精度要求，水泡安平難以滿足要求，于是，各種自動(dòng)激光儀器應(yīng)運(yùn)而生，并發(fā)展了一些獨(dú)特的安平方式。 功能向組合式方向發(fā)展：早期的工程用激光儀器一般功能單一，或投點(diǎn)（水平、 鉛垂或垂準(zhǔn)），或投線（水平 / 豎直），或掃平面。隨著工程施工多樣性的需要，現(xiàn)在的激光儀器逐漸將這些單一功能組合，形成種類和規(guī)格繁多的激光儀器。 激光器波長逐步向短的方向移動(dòng)：早期的工程用激光儀器多采用 670nm 的半導(dǎo)體激光器，現(xiàn)在多采用 650nm 和 635nm 的半導(dǎo)體激光器作光源。 探測過程的光電自動(dòng)化：對(duì)于中高 精度的儀器，基本上都配備了光電探測器件，提高了觀測精度，實(shí)現(xiàn)了測量的光電自動(dòng)化，并使觀測結(jié)果更客觀。 補(bǔ)償安平方式主要有： 吊絲補(bǔ)償安平方式：用金屬吊絲將準(zhǔn)直物鏡 ( 含激光器 ) 懸吊在儀器座上。利用重力實(shí)現(xiàn)出射光束的自動(dòng)安平作用。 軸承擺補(bǔ)償安平方式：激光器及準(zhǔn)直系統(tǒng)安裝在重力擺上，重力擺繞兩個(gè)精密軸承確定的軸線擺動(dòng)。重力安平，磁阻尼穩(wěn)定，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)安平。 電子補(bǔ)償安平方式：采用傾斜傳感器，測量儀器基座的傾斜大小和傾斜方向，利用伺服電機(jī)對(duì)激光器準(zhǔn)直系統(tǒng)的輸出方向進(jìn)行實(shí)時(shí)修正。芬蘭VTI生產(chǎn)的傾角傳感器SCA103T滿足中高精度要求。 液體補(bǔ)償安平方式：使準(zhǔn)直激光束通過一個(gè)穩(wěn)定的液槽，當(dāng)儀器安平時(shí)， 液槽內(nèi)的液體形成一個(gè)平行平板；當(dāng)儀器微傾時(shí)，液槽內(nèi)的液體形成一個(gè)液體光楔，將對(duì)出射光束的方向進(jìn)行一定補(bǔ)償。為了對(duì)光束出射方向能夠完全補(bǔ)償，讓光連續(xù)通過二層折射率不同的液體，當(dāng)兩種液體折射率滿足一定條件時(shí)，即能對(duì)光束出射方向?qū)崿F(xiàn)完全補(bǔ)償。 為什么選擇芬蘭VTI產(chǎn)品 高精度低量程加速度傳感器的全球市場先驅(qū) VTI科技是全球范圍內(nèi)硅電容式慣性傳感器設(shè)計(jì)和生產(chǎn)的先驅(qū)。憑借我們?cè)谶\(yùn)動(dòng)測量領(lǐng)域雄厚的技術(shù)積累，我們致力于提供適合用戶測量需求的產(chǎn)品和服務(wù)并以高質(zhì)量的產(chǎn)品滿足客戶的需求。VTI在世界范圍內(nèi)為客戶提供加速度、震動(dòng)、擺動(dòng)、傾斜度、壓力測量的解決方案。通過與特定伙伴的合作，在傳感器領(lǐng)域，我們提供可改善安全性和保密性、生活健康及質(zhì)量的有競爭力的解決方案。我們致力于生產(chǎn)高質(zhì)量的微機(jī)械加工產(chǎn)品，產(chǎn)品覆蓋了單獨(dú)的敏感元件到完整的分立器件。 傾角儀器(人工地平儀) 測量范圍為0.5g到1g的加速度計(jì)被應(yīng)用在傾角儀器中，具有過阻尼敏感元，以避免振動(dòng)的影響。通過使用單獨(dú)的溫度補(bǔ)償，以及通過補(bǔ)償傾斜面中的角度安裝誤差，此種儀器能夠做得非常準(zhǔn)確。帶溫度補(bǔ)償?shù)哪軌驖M足室外要求的精確傾角儀能夠應(yīng)用在水平儀、平面激光儀和雙目望遠(yuǎn)鏡中。另外，離軌車輛使用一組傾角儀來產(chǎn)生人工地平儀。不同于傳統(tǒng)的玻璃中帶氣泡的水平儀，此種水平儀帶有傾角儀，而且數(shù)字化顯示便于讀數(shù)。適合產(chǎn)品：SCA61T，SCA100T，SCA103T woody@sinocomopto.com |
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