著 5G 發(fā)展，相控陣天線被廣泛應(yīng)用于高增益、高效率、多波束的天線系統(tǒng)。在相控陣天線通過移相器可以將輻射波束掃描到不同方向。為了提高相控陣系統(tǒng)的整體性能，尤其是在發(fā)射信道中，要求移相器具有低損耗、寬帶、低功耗、體積小、功率處理能力強的特點。因此，分布式 MEMS 傳輸線（DMTL）移相器被認為是滿足這些要求的潛在解決方案。

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　　摘要

　　在本研究中，我們開發(fā)了一個適用于相控陣天線系統(tǒng)的 DMTL 移相器。DMTL 移相器設(shè)計為在 2～4GHz 時產(chǎn)生兩態(tài)相移（0°和 90°）。該移相器有 15 個 MEMS 并聯(lián)開關(guān)，通過在開關(guān)狀態(tài)下改變電容來控制移相。電容的這種變化將改變傳輸線的阻抗和傳輸速度，從而提供差分相移。

　　利用 HFSS 對移相器進行電磁性能仿真，主要優(yōu)化阻抗匹配、插入損耗和相移三個關(guān)鍵參數(shù)。

　　MEMS 器件仿真設(shè)計難點之一是網(wǎng)格尺寸的確定，仿真的取決于網(wǎng)格的大小。在本設(shè)計中，用于 DMTL 移相器的 MEMS 電橋的尺寸為 372?m（長）×50?m（寬），如圖 1 所示。當 MEMS 橋向傳輸線的中心導體向下拉時，其電容增大。因此，準確地模擬出移相器在上、下狀態(tài)時的電容值，對于保證移相器產(chǎn)生準確的相移值是非常重要的。為了實現(xiàn)這一點，在模型的某些區(qū)域，特別是在橋梁區(qū)域，確保網(wǎng)格劃分的精細度是獲得準確仿真結(jié)果的關(guān)鍵。

　　對于三維電磁求解器（仿真軟件），網(wǎng)格劃分是一個非常關(guān)鍵的過程，有時需要用戶較深網(wǎng)格知識。利用 HFSS 中提供的自適應(yīng)網(wǎng)格細化功能，網(wǎng)格大小不必手動確定，自適應(yīng)網(wǎng)格劃分工具將自動設(shè)置模型的網(wǎng)格大小，并逐漸細化網(wǎng)格大小，直到達到某個準則，從而保證仿真的和準度。

　　圖 1  MEMS 電橋

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　　HFSS 仿真思路與流程

　　MEMS-DMTL 移相器是一種雙端口器件，它通過直流偏壓驅(qū)動安裝在傳輸線上的 MEMS 橋來改變其相位。本研究使用共面波導（CPW）傳輸線，其中 15 個 MEMS 電橋按照特定距離排列，終將移相器的三維模型導入 HFSS。

　　首先仿真一個 MEMS 橋組成的移相器單元，并與理論值進行比較。然后仿真總共 15 個單元以實現(xiàn) 90?相移，如圖 3 所示。在仿真設(shè)置中，將端口設(shè)置為波端口，計算移相器的端口阻抗。模型邊界設(shè)為輻射邊界，求解頻率設(shè)為 3ghz。通過次數(shù)增加到 20 次，以確保收斂。頻率掃描設(shè)置為覆蓋從 0.5GHz 到 4GHz 的相關(guān)頻率范圍。

　　仿真完成后，后處理分析 DMTL 移相器的回波損耗、插入損耗和相移的結(jié)果。本采用 ansys hfss 2020 R1 進行仿真。

　　圖 2  DMTL 移相器子單元

　　圖 3 完整移相器模型

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　　仿真結(jié)果與效果分析

　　MEMS 移相器的主要分析參數(shù)是回波損耗、插入損耗和相移值。為了減少端口阻抗失配造成的損耗，在其工作頻率上，