晶圓級(jí)CSP的返修完成之后的檢查
出處:lwsmile 發(fā)布于:2008-12-15 13:58:31
返修之后可以對(duì)重新裝配的元件進(jìn)行檢查測(cè)試,檢查測(cè)試的方法包括非破壞性的檢查方法,如目視、光 學(xué)顯微鏡、電子掃描顯微鏡、超聲波掃描顯微鏡、X-Ray和一些破壞性的檢查測(cè)試,如切片和染色實(shí)驗(yàn)、老 化和熱循環(huán)測(cè)試,以及機(jī)械測(cè)試(推拉,跌落,振動(dòng),扭轉(zhuǎn)和彎曲)等。例如,可以用X-Ray檢查返修前后 焊點(diǎn)的情況,是否短路,在焊點(diǎn)內(nèi)是否有空洞存在等。如圖1所示。

圖1 X-Ray檢查返修前后的焊點(diǎn)
對(duì)焊點(diǎn)切片后,利用顯微鏡檢查焊點(diǎn)內(nèi)空洞的情形,檢查其是否潤(rùn)濕良好等。如圖2所示。

圖2 對(duì)焊點(diǎn)切片檢查,因?yàn)榈撞刻畛洳牧蠚埩簦瑢?dǎo)致焊接過程中潤(rùn)濕不良
利用上面介紹的關(guān)于非破壞性和破壞性的檢查方法,可以確定返修工藝是否可靠,還可以開發(fā)和優(yōu)化返修工藝,以獲得滿意的良率和可靠性。
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